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隨機(jī)相位板是一種通過精密微結(jié)構(gòu)產(chǎn)生隨機(jī)相位延遲的關(guān)鍵光學(xué)元件。它能有效破壞激光的相干性,消除有害散斑,并將高斯分布的光束轉(zhuǎn)換為能量高度均勻的平頂光斑。憑借其高效能、高均勻性和無聚焦的特性,該元件已成為激光加工、光學(xué)測(cè)量與激光投影顯示等領(lǐng)域中提升系統(tǒng)性能和一致性的核心解決方案,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體退火、激光清洗及3D傳感等高端場(chǎng)景。
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隨機(jī)相位板可對(duì)系統(tǒng)位相進(jìn)行精確模擬、校正或調(diào)制??僧a(chǎn)生單階、多階像差位相器件,用于各種光學(xué)系統(tǒng)靜態(tài)像差校正;也可產(chǎn)生具有特定功率譜的動(dòng)態(tài)隨機(jī)波像差等。典型應(yīng)用為用于矯正人眼高階像差模擬器、大氣湍流位相調(diào)制效應(yīng)像差補(bǔ)償元件及非球面檢測(cè)用CGH位相板。
應(yīng)用領(lǐng)域
激光加工與制造
光學(xué)測(cè)量與成像
顯示技術(shù)
光刻系統(tǒng)
科學(xué)研究

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