M2 轉(zhuǎn)換模塊是我們完整 LeanLine 解決方案的一部分，也可作為獨立解決方案提供給希望自行進行線形整形的客戶。該模塊是一種經(jīng)濟高效的解決方案，可使用多模 (MM) 激光器作為輸入源，在一個軸上獲得接近單模 (SM) 的光束質(zhì)量。

它極其易于對準，保持相同的光軸，并采用低數(shù)值孔徑 (NA) 光學元件；使其易于與現(xiàn)有的線聚焦光學系統(tǒng)集成。與競品方案不同，輸入光束可以是圓形的，不需要呈橢圓形。只需將該模塊插入您的光路中，經(jīng)過一些微調(diào)后，您即可獲得經(jīng)過 M2 轉(zhuǎn)換的光束。

產(chǎn)品特點

• 基于 HOLO/OR 獨特知識產(chǎn)權(quán)內(nèi)部開發(fā)。

• 易于對準和安裝 – 模塊出廠即預對準并密封。

• 通過光刻生產(chǎn)工藝實現(xiàn)光束質(zhì)量轉(zhuǎn)換的極高精度。

• 全透射（無反射）、同軸系統(tǒng)。

• 無像差。

• 無內(nèi)部焦點。

• 可用光譜范圍廣：從深紫外 (DUV) 193nm 到近紅外 (NIR) 1940nm。

• 采用高品質(zhì)紫外熔融石英制造，所有表面均鍍有高功率增透 (AR) 膜。

典型規(guī)格

每套系統(tǒng)僅限一個波長，最大光譜寬度為輸入波長的 2%

工作原理

輸出形狀由間距相等的分段組成，在一個軸（快軸）上具有接近單模的質(zhì)量，在第二個軸（慢軸）上為高度多模。這些分離的低 M2 值分段可以被重新整形并聚焦成一條薄且接近衍射極限的直線，具有良好的均勻性；適用于材料加工的應用需求。

M2 轉(zhuǎn)換模塊仿真

以下是 M2 轉(zhuǎn)換模塊的仿真性能結(jié)果。上方的兩個輪廓圖顯示了波長為 343 nm、光束直徑 6 mm、發(fā)散角 0.083 度的圓形多模激光光源的強度和發(fā)散角。使用我們的 M2 計算器，這些計算出的光束參數(shù)相當于 M2 值為 20。

圓形多模激光光源的強度和發(fā)散角

下方的圖片展示了 M2 轉(zhuǎn)換模塊出口處的強度和發(fā)散角。在 M2 值小的軸上，光束尺寸為 0.65 mm，發(fā)散角為 0.094 度。計算得出的 M2 值為 2.4。

M2 轉(zhuǎn)換模塊輸出 - X 軸（快軸）的歸一化強度和發(fā)散角

M2 轉(zhuǎn)換模塊輸出 - Y 軸（慢軸）的強度和發(fā)散角

LeanLine?

LeanLine? 是創(chuàng)新解決方案，用于將圓形輸入光束轉(zhuǎn)換為窄激光線，適用于各種高功率應用，尤其是紫外和綠光波長（343、355 和 532 nm）。
 HOLO/OR 提供穩(wěn)健的雙模塊系統(tǒng)，可將低相干性的圓形輸入轉(zhuǎn)換為用戶指定長度（100mm-750mm）的窄線。
我們的解決方案基于專有的衍射光束整形概念，可針對從 193nm 深紫外到 1940 nm 紅外激光器的任何波長進行定制。

通過利用此解決方案，您可以使用功率更低、成本更低的激光器在細線中實現(xiàn)相同的功率密度；從而大幅節(jié)省成本。

衍射解決方案優(yōu)勢：

• 易于對準和安裝。

• 通過光刻生產(chǎn)工藝實現(xiàn)光束質(zhì)量轉(zhuǎn)換的極高精度。

• 全透射（無反射）、同軸系統(tǒng)。

• 無像差。

• 可輕松修改以產(chǎn)生不同的線長和線寬。

• 無內(nèi)部焦點。

• 可用光譜范圍廣：從深紫外 (DUV) 到近紅外 (NIR)。

該解決方案包含兩個模塊：

• 第一個模塊是 M2 轉(zhuǎn)換模塊：用于光束質(zhì)量轉(zhuǎn)換和細線光束整形。

• 第二個模塊：用于控制線長度并在窄軸方向聚焦。

LeanLine 應用領(lǐng)域：

• 激光剝離工藝 & 解鍵合 (Debonding)。

• 激光退火。

• 激光焊接。

• 薄膜太陽能電池生產(chǎn)。

• 直接激光干涉圖案化 (DLIP)。

• OLED 顯示器。

LeanLine加工材料：

• 硅

• 玻璃上硅

• 聚合物

• 玻璃上氧化銦錫

典型規(guī)格